[其它]真空氣體流量的測控方法

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更多發布于：2023-11-06 15:11

真空度是指單位體積內所含氣體分子數量的少與常壓下的氣體分子數量。在某些特定的應用場景中，需要在真空環境下進行氣體的流量測量。比如，在半導體工業中，需要將氣體注入到真空腔體中，而精準的氣體流量控制則是保證這個過程成功的關鍵之一。在這種情況下，如何進行準確可靠的流量測量就顯得尤為重要。

測量真空度的方法有氣壓法、氣體流量法、熱導法、電離法、質譜法和殘留氣體分析法等。這些方法各有特點，適用于不同范圍的真空度測量。在實際應用中，根據需要選擇合適的測量方法，以確保測量結果準確可靠。下面工采網小編通過本文介紹一下真空環境氣體流量的測控方法。

真空狀態下, 氣體流量的測量具有如下特點 :

(1) 流量密度小, 限制了渦街流量計與超聲流量計的正常使用。對于前者相應的氣流推力過小,對于后者則會產生阻抗匹配的困難。

(2) 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計后增大了阻力, 產生較大的壓損將使動力損耗大大增加, 不利于節能。因而孔板流量計、渦輪流量計、容積式流量計等均不適用。

(3) 流量計在負壓管道上安裝后, 如果存在泄漏很難覺察, 不僅會浪費動力, 而且會嚴重破壞內部氣體環境。

真空氣體流量的測量常見于測量真空氣流的過程,即利用氣體流量計測量真空開關內氣體流量的方法來檢測真空度。在測量過程中，先將氣體流量計連接到真空開關上，然后通入一定的氣體，測量氣體通過真空開關的流量，從而計算出其真空度。需要注意的是，測量氣體流量時應保證流量計與真空開關之間的管路盡量短，以減少氣體泄漏的可能性。

針對無法在真空條件下進行正常準確的氣體流量測量的技術問題工采網推薦由歐洲專業流量廠家代工生產的ISweek工采網氣體流量傳感器– AFE-01。AFE-01 具有體積非常小，雙流向檢測、檢測小質量物體的流動、簡單的信號處理電路和標定、完全固定的機械元件、優異的重復性和長期穩定性等特點，AFE-01其原理是由四個鉑金薄膜電阻構成,阻抗低，加熱區面積小。加熱器左右兩邊各一個高阻抗電阻，用來檢測流速和流向，還有一個電阻用來檢測氣體的溫度，靠近加熱元件的兩個電阻連接成一個電橋，產生檢測流速和流向功能的—個輸出信號。沒有流量的情況下，這兩個電阻達到同樣的加熱狀態。當有流量存在時，其中一個電阻的溫度比另一個低很多，具體哪個電阻溫度變低由流向決定，溫度差可以測量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時間和響應時間非常短，因為它的熱質量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動速度，溫度傳感器可以與恒溫風速儀相連接，適合醫療，儀表行業,OEM客戶使用。

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