[其它]真空氣體流量的測控方法

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更多發(fā)布于：2023-11-06 15:11

真空度是指單位體積內(nèi)所含氣體分子數(shù)量的少與常壓下的氣體分子數(shù)量。在某些特定的應(yīng)用場景中，需要在真空環(huán)境下進(jìn)行氣體的流量測量。比如，在半導(dǎo)體工業(yè)中，需要將氣體注入到真空腔體中，而精準(zhǔn)的氣體流量控制則是保證這個過程成功的關(guān)鍵之一。在這種情況下，如何進(jìn)行準(zhǔn)確可靠的流量測量就顯得尤為重要。

測量真空度的方法有氣壓法、氣體流量法、熱導(dǎo)法、電離法、質(zhì)譜法和殘留氣體分析法等。這些方法各有特點，適用于不同范圍的真空度測量。在實際應(yīng)用中，根據(jù)需要選擇合適的測量方法，以確保測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠。下面工采網(wǎng)小編通過本文介紹一下真空環(huán)境氣體流量的測控方法。

真空狀態(tài)下, 氣體流量的測量具有如下特點 :

(1) 流量密度小, 限制了渦街流量計與超聲流量計的正常使用。對于前者相應(yīng)的氣流推力過小,對于后者則會產(chǎn)生阻抗匹配的困難。

(2) 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計后增大了阻力, 產(chǎn)生較大的壓損將使動力損耗大大增加, 不利于節(jié)能。因而孔板流量計、渦輪流量計、容積式流量計等均不適用。

(3) 流量計在負(fù)壓管道上安裝后, 如果存在泄漏很難覺察, 不僅會浪費(fèi)動力, 而且會嚴(yán)重破壞內(nèi)部氣體環(huán)境。

真空氣體流量的測量常見于測量真空氣流的過程,即利用氣體流量計測量真空開關(guān)內(nèi)氣體流量的方法來檢測真空度。在測量過程中，先將氣體流量計連接到真空開關(guān)上，然后通入一定的氣體，測量氣體通過真空開關(guān)的流量，從而計算出其真空度。需要注意的是，測量氣體流量時應(yīng)保證流量計與真空開關(guān)之間的管路盡量短，以減少氣體泄漏的可能性。

針對無法在真空條件下進(jìn)行正常準(zhǔn)確的氣體流量測量的技術(shù)問題工采網(wǎng)推薦由歐洲專業(yè)流量廠家代工生產(chǎn)的ISweek工采網(wǎng)氣體流量傳感器– AFE-01。AFE-01 具有體積非常小，雙流向檢測、檢測小質(zhì)量物體的流動、簡單的信號處理電路和標(biāo)定、完全固定的機(jī)械元件、優(yōu)異的重復(fù)性和長期穩(wěn)定性等特點，AFE-01其原理是由四個鉑金薄膜電阻構(gòu)成,阻抗低，加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個高阻抗電阻，用來檢測流速和流向，還有一個電阻用來檢測氣體的溫度，靠近加熱元件的兩個電阻連接成一個電橋，產(chǎn)生檢測流速和流向功能的—個輸出信號。沒有流量的情況下，這兩個電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時，其中一個電阻的溫度比另一個低很多，具體哪個電阻溫度變低由流向決定，溫度差可以測量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時間和響應(yīng)時間非常短，因為它的熱質(zhì)量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動速度，溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接，適合醫(yī)療，儀表行業(yè),OEM客戶使用。

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